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三氯化铁的蚀刻原理

发表时间:2016-12-30 10:00【

随着电子技术的发展,越来越需要许多几何形状复杂、精密度要求高而机械加工难以实现的超薄形工件。而照相腐蚀(或称金属蚀刻)方法却易达到部件平整、无毛刺、图形复杂的要求,且加工周期短、成本低。它的化学原理是利用三氯化铁水溶液作为腐蚀剂与金属反应:

 2FeCl3+ F e= 2FeCl2

 2FeCl3+ C u= CuCl2+ 2FeCl2

 

 在氯离子和氧化剂共存的条件下就可以发生金属腐蚀。 FeCl3作为一种较强的氧化剂,其腐蚀作用取决于 Fe3++Fe → Fe2+反应的氧化还原电位( 0.77V ),加之溶液中含有大量的氯离子,且 PH 值低、酸性强,所以对金属有强烈的腐蚀倾向。由腐蚀反映原理可知,三氯化铁随着反应进行, Fe3+离子浓度越来越低,而 Fe2+离子浓度越来越高。

一般经验数据表明:在三氯化铁溶液中的 Fe2+离子浓度超过一定量时,腐蚀剂对金属腐蚀速度就显著下降,腐蚀质量变差,此时就需要更新。若经常更换腐蚀溶液,一则对环境产生污染,二则造成浪费,提高产品成本,如果能把 Fe2+氧化再生就可能解决这些问题。


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